EDXとは？

EDXは、Energy Dispersive X-ray Spectroscopyの略称で、日本語ではエネルギー分散型X線分光法となります。電子機器の材料分析において、試料の元素組成を特定するための技術です。EDXはSEM（走査型電子顕微鏡）と組み合わせて使用される分析技術です。試料に電子ビームを照射し、生成された特性X線を検出することで、試料の元素組成を特定します。この技術は、材料科学、半導体、ナノテクノロジーなどの分野で広く利用されており、微小領域の元素分析に優れています 。EDXの主な利点には、迅速な分析、非破壊検査、そして高い感度があげられます。